氮化鋁與三維散熱網路的薄型三維積體電路高效散熱技術
- AlN Thermal Layer — 300 nm 超薄 AlN 熱擴散層
- Laser Annealing — 532 nm 雷射局部退火
- 45.5 W/m·K Thermal Conductivity — 提升 AlN 垂直熱傳能力
- 3D Thermal Network — Dummy TLVs 建立垂直散熱路徑
- ~30% Temperature Reduction — 三維散熱架構降低平均溫度
結合莫爾紋與深度學習的高精度晶圓級對位技術
- Moiré-Based 3-DoF Alignment — X、Y、θ 三自由度對位
- 90 μm Working Distance — 非接觸式光學對位
- Digital Twin + DLOMA — 深度學習自動對位
- W2W Alignment — 8 吋晶圓對位
- 300 nm Multi-Tier Alignment — 三層元件堆疊驗證
